인라인 필터 Alicat은 큰 미립자가 기기의 측정 헤드에 들어가는 것을 방지하기 위해 질량 유량계 및 질량 유량 컨트롤러와 함께 사용할 수 있는 인라인 소결 필터를 제공합니다. 
최대 미립자 크기는 다음과 같습니다.

- 전체 유량 범위가 0~1sccm 이하인 장치의 경우 최대 입자 크기는 5미크론입니다.
- 전체 유량 범위가 0~2sccm~0~1slpm인 장치의 경우 최대 입자 크기는 20미크론입니다.
- 전체 유량 범위가 0~1slpm 이상인 장치의 경우 최대 입자 크기는 50미크론입니다.

#10-32 UNF 인라인 필터
부품 번호: 510053, 510054
#10-32 UNF 인라인 필터는 0-50 sccm 이하(Whisper 장치의 경우 0-20 sccm 이하)의 전체 범위가 있는 마이크로 유량계 및 컨트롤러와 함께 작동하도록 설계되었습니다.
이 필터는 질량 유량계 또는 컨트롤러의 #10-32 UNF 나사산 입구 프로세스 연결부에 직접 나사로 고정됩니다. 필터 요소는 분리할 수 없으며 다음 크기로 제공됩니다.

부품 510053: 5마이크론, 0-0.5sccm 및 0-1sccm 질량 유량계 및 컨트롤러에 권장됨
부품 510054: 20마이크론, 0-2sccm ~ 0-50sccm 질량 유량계 및 컨트롤러에 권장됨

*참고: 마이크로 유량 질량 유량계에 #10-32 UNF - 1/8" NPT 어댑터를 사용하는 경우, 어댑터 앞에 1/8" NPT 인라인 필터를 사용하는 대신 유량계와 어댑터 사이에 #10-32 UNF 인라인 필터를 사용하세요.


ILF 시리즈 인라인 필터
부품 번호: ILF-1/8-20, ILF-1/4-40, ILF-1/2-40, ILF-3/4-40
질량 유량계 및 컨트롤러용 인라인 필터인 ILF 시리즈는 사용자가 접근할 수 있는 필터 요소를 특징으로 하며, 별도로 구매하여 교체할 수 있습니다.
0-100sccm 이상(Whisper 장치의 경우 0-50sccm 이상)의 전체 범위가 있는 질량 유량 계측기를 수용하기 위해 1/8"에서 3/4"까지의 NPT 크기로 제공됩니다.
질량 유량계 또는 컨트롤러의 NPT 나사산 입구 프로세스 연결부에 직접 나사로 고정합니다. 필터는 다음 크기로 제공됩니다.

부품 ILF-1/8-20: 1/8" NPT, 20마이크론, 0-100sccm ~ 0-20slpm 질량 유량계 및 컨트롤러에 적합
부품 ILF-1/4-40: 1/4" NPT, 40마이크론, 0-50slpm부터 0-100slpm 질량 유량계 및 컨트롤러에 적합
부품 ILF-1/2-40: 1/2" NPT, 40마이크론, 0-250 slpm 질량 유량계 및 컨트롤러에 적합
부품 ILF-3/4-40: 3/4" NPT, 40마이크론은 0-500slpm에서 0-2000slpm까지의 질량 유량계 및 컨트롤러에 적합합니다.


ILF 시리즈 인라인 필터 엘리먼트

부품 번호: ILFE20. ILFE40, ILFE40L
당사의 ILF 시리즈 인라인 필터 요소는 ILF 시리즈 필터와 함께 제공되는 소결 필터 요소를 대체합니다. 각 필터 요소 교체에는 필터 요소 자체 뿐만 아니라 새로운 O-링도 포함됩니다.
필터 요소는 다음 크기로 제공됩니다.

부품 ILFE20: 20미크론, 1/8" NPT 20미크론 필터에 맞음(부품 ILF-1/8-201)
부품 ILFE40: 40마이크론, 1/4" NPT 40마이크론 필터에 맞음(부품 ILF-1/4-40)
부품 ILFE40L: 40미크론, 1/2" 및 3/4" NPT 40미크론 필터에 맞음(부품 ILF-1/2-40 및 ILF-3/4-40)